九游体育 中国官方网站金融界 2024 年 9 月 18 日消息，天眼查知识产权信息显示，台积电（中国）有限公司,台湾积体电路制造股份有限公司取得一项名为“检测机构和镀膜装置“，授权公告号 CN221720914U，申请日期为 2024 年 2 月。

　　专利摘要显示，本申请属于晶圆制备技术领域，尤其涉及检测机构和镀膜装置。本申请公开检测机构，包括包括支架、照相机和遮光板，支架上设有第一腰型孔和第二腰型孔；照相机与支架连接，照相机上设有与第二腰型孔匹配的第一螺栓孔，照相机包括操作部；遮光板与照相机转动连接，遮光板上设有暴露孔，至少部分操作部从暴露孔露出。本申请通过设置照相机拍摄晶圆，并通过照片比对夹持机械臂与晶圆上的定位点之间的间距来识别定位点有没有移位，进而提高产品的良率。通过在支架上设置第一腰型孔和第二腰型孔，且在照相机上设置与第二腰型孔匹配的第一螺栓孔，使得支架的位置可调整，照相机相对于支架的位置也可以调整。